[发明专利]一种用三氯化铁蚀刻不锈钢的蚀刻方法及设备

摘要

一种用三氯化铁蚀刻不锈钢的蚀刻方法及设备，涉及到不锈钢的蚀刻技术领域。解决现有三氯化铁蚀刻溶液蚀刻不锈钢使用寿命短，蚀刻品质没保证等技术不足，在首次蚀刻前，计量需蚀刻不锈钢总量，并对蚀刻溶液要进行取样检测；首次蚀刻完成后，计算出不锈钢损失量，同时再次对蚀刻溶液要进行取样检测；根据不锈钢损失量与蚀刻液中二氯化铁、游离酸及三氯化铁的质量百分含量变化量，在主控模块中设定以后每一次蚀刻控制开启第一添加泵和第二添加泵开启的时间周期。提高三氯化铁蚀刻溶液使用寿命，减少冲洗蚀刻机频率，提高产能，使蚀刻溶液有较好的稳定性，提高产品质量，整体提高生产效益，降低成本有显著的效果。

主权项

一种用三氯化铁蚀刻不锈钢的蚀刻方法，其特征在于所述蚀刻方法采用蚀刻机蚀刻，蚀刻机内的三氯化铁蚀刻溶液的ORP值650mv以上；蚀刻机在首次蚀刻前，计量需蚀刻不锈钢总量，并对蚀刻溶液要进行取样检测，检测出蚀刻液中二氯化铁、游离酸及三氯化铁的质量百分含量；首次蚀刻完成后，计量完成蚀刻后不锈钢总量，从而计算出不锈钢损失量，同时再次对蚀刻溶液要进行取样检测，检测出蚀刻液中二氯化铁、游离酸及三氯化铁的质量百分含量；根据不锈钢损失量与蚀刻液中二氯化铁、游离酸及三氯化铁的质量百分含量变化量，在主控模块中设定以后每一次蚀刻控制开启第一添加泵和第二添加泵开启的时间周期；第一添加泵开启时添加剂储液槽中的添加剂开始向蚀刻机中添加，第二添加泵开启时盐酸储液槽中的盐酸开始向蚀刻机中添加；电位检测器按预设时间周期对蚀刻机内的蚀刻溶液的ORP值进行检测监控。