[发明专利]自动化多点探针操作

摘要

公开了一种尤其适用于自动操作的多点探针。还公开了一种包括所述多点探针和探针操作器头的自动化多点测量系统。此外，还披露了一种包括探针座和所述探针操作器头的自动化多点探针夹持系统。另外，还披露了一种加载的探针加载器，它包括探针加载器和用于处理多点探针的探针盒，其中探针盒装备有用于固定多点探针的探针座。

主权项

一种多点探针(10)，包括相互平行的平的底面(12)和平的顶面(11)，所述多点探针(10)还包括倾斜的平的前面(13)、第一侧面(14a)、所述多点探针(10)的与所述第一侧面(14a)相对的侧上的第二侧面(14b)以及所述多点探针(10)的与所述前面(13)相对的侧上的端面(15)，所述前面(13)、第一侧面(14a)、第二侧面(14b)和端面(15)中的每一个连接所述底面(12)和所述顶面(11)，所述前面(13)和所述底面(12)在它们之间限定尖的内部前角和前边(43)，所述第一侧面(14a)和所述底面(12)限定了介于它们之间的第一侧边，所述第二侧面(14b)和所述底面(12)限定了介于它们之间第二侧边，而所述端面(15)和所述底面(12)限定了介于它们之间的端边，所述多点探针(10)的纵向(46)被沿着所述第一和第二侧边限定并且垂直于所述前边(43)，所述底面(12)设有导电金属层和一组镂刻切口(23)，这组镂刻切口将所述金属层分割成在所述前边(43)处会合到探针尖(26)上的多个信号轨迹(31'‑42')、多个接触衬垫(31‑42)和多个电缆管(47)，所述多个电缆管(47)中的每个电缆管使所述多个接触衬垫(31‑42)的各个接触衬垫和所述多个信号轨迹(31'‑42')的信号轨迹相互连接，所述多个接触衬垫(31‑42)被分成第一排(31‑36)和第二排(37‑42)，它们的位置相互靠近并沿着所述纵向(46)，所述第一排(31‑36)和所述第一侧边限定出介于它们之间的所述底面(12)的第一外部区域(25)，所述第二排(37‑42)和所述第二侧边限定出介于它们之间的所述底面(12)的第二外部区域(25)，所述第一排(31‑36)和所述第二排(37‑42)限定出介于它们之间的内部区域，以及所述的多个电缆管(47)被分成外组和内组，所述外组的电缆管穿过所述第一或者第二外部区域中的任何一个，而所述内组的电缆管穿过所述内部区域。