[发明专利]一种具有超高硬度、低摩擦系数的TiSiCN纳米复合涂层及制备方法有效
| 申请号： | 201410341995.8 | 申请日： | 2014-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN104087898B | 公开（公告）日： | 2017-05-03 |
| 发明（设计）人： | 李伟;薛增辉;刘平;马凤仓;刘新宽;陈小红;何代华 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司31001 | 代理人： | 吴宝根,马文峰 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种具有超高硬度、低摩擦系数的TiSiCN纳米复合涂层及制备方法。所述具有超高硬度、低摩擦系数的TiSiCN纳米复合涂层是采用多靶磁控溅射仪，由TiSiC复合靶材在依次经抛光、超声波清洗、离子清洗后的基体上进行磁控溅射反应沉积而形成的。所述TiSiC复合靶材中，按原子比计算，Ti为84%，Si和C的总原子量为16%。该TiSiCN纳米复合涂层的硬度为36.1‑46.0GPa，与GCr15钢球的摩擦系数为0.30‑0.38，可用在干式、高速切削加工刀具以及在摩擦磨损条件服役的部件表面，从而提高刀具及部件表面性能和使用寿命。其制备方法具有工艺简单、沉积速度快、成本低、结合强度高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 超高 硬度 摩擦系数 tisicn 纳米 复合 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种具有超高硬度、低摩擦系数的TiSiCN纳米复合涂层，其特征在于所述具有超高硬度、低摩擦系数的TiSiCN纳米复合涂层是采用多靶磁控溅射仪，由TiSiC复合靶材在依次经抛光、超声波清洗、离子清洗后的基体上进行磁控溅射反应沉积而形成的；所述的基体为金属、硬质合金、陶瓷或单晶Si；所述的TiSiC复合靶材中，按原子比计算，其中Ti为84%，Si和C的总原子量为16%；所述的TiSiC复合靶材中，按原子比计算，其中Si：C为12%：4%、8%：8%、4%:12%、2%：14%；所述的TiSiC复合靶材的直径为75mm。
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