[发明专利]MEMS器件、接口电路及其制作方法有效
| 申请号： | 201410342001.4 | 申请日： | 2014-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN104301839B | 公开（公告）日： | 2018-01-09 |
| 发明（设计）人： | S·巴曾;A·韦斯鲍尔;C·简克纳;M·菲尔德纳 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R3/00 | 分类号： | H04R3/00;B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所11256 | 代理人： | 王茂华,张宁 |
| 地址： | 德国诺伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 根据本发明的实施例，一种微机电系统(MEMS)器件，包括第一板；第二板，布置在所述第一板上方；和第一可移动板，布置在所述第一板和所述第二板之间。MEMS器件进一步包括第二可移动板，布置在所述第一可移动板和所述第二板之间。 | ||
| 搜索关键词： | mems 器件 接口 电路 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种微机电系统(MEMS)器件，包括：第一板；第二板，布置在所述第一板之上；第一可移动板，布置在所述第一板和所述第二板之间；以及第二可移动板，布置在所述第一可移动板和所述第二板之间；其中所述MEMS器件包括耦合至所述第一板的第一输入/输出节点、耦合至所述第二板的第二输入/输出节点、耦合至所述第一可移动板的第三输入/输出节点、以及耦合至所述第二可移动板的第四输入/输出节点，其中所述第一输入/输出节点是与所述第二输入/输出节点不同的输入/输出节点，以及其中所述第三输入/输出节点是与所述第四输入/输出节点不同的输入/输出节点；其中所述第一可移动板刚性地耦合到所述第二可移动板，以及其中所述第一可移动板配置成被屏蔽而免于与所述第二可移动板电容性耦合。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于英飞凌科技股份有限公司，未经英飞凌科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410342001.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：开关组件
- 下一篇：低轮廓、表面安装电磁部件组件以及制造方法
