[发明专利]液晶面板的制造装置及液晶面板的制造方法有效
申请号: | 201410342012.2 | 申请日: | 2014-07-17 |
公开(公告)号: | CN104698655B | 公开(公告)日: | 2019-07-02 |
发明(设计)人: | 藤冈纯;田内亮彦;日野弘喜;村上之康 | 申请(专利权)人: | 东芝照明技术株式会社 |
主分类号: | G02F1/1333 | 分类号: | G02F1/1333;G02F1/1337 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 臧建明 |
地址: | 日本神奈川县横*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种液晶面板制造装置及液晶面板的制造方法,能够抑制被处理面板的温度的不均匀且抑制被处理面板的温度的变化。实施方式的液晶面板的制造装置包括光照射部、照射箱、平台、腔室、以及循环型空冷装置。光照射部射出光。照射箱具有透过来自光照射部的光的窗口材料。平台具有载置面,所述载置面以面对窗口材料的方式而设置且载置被处理面板。在平台内部使液体流通,所述液体对载置面的被照射光的区域进行温度控制。腔室覆盖照射箱与平台。循环型空冷装置将从设置于腔室的导入口导入的气体从排出口排出,并对腔室内的温度进行控制。 | ||
搜索关键词: | 液晶面板 制造 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种液晶面板的制造装置,其特征在于,包括:光照射部,射出光;照射箱,具有透过来自所述光照射部的光的窗口材料;平台,具有载置面,所述载置面以面对所述窗口材料的方式而设置且载置被处理面板,在所述平台的内部使液体流通,所述液体对所述载置面的被照射所述光的区域进行温度控制;腔室,覆盖所述照射箱与所述平台;以及循环型空冷装置,包括设置于所述腔室的导入口与排出口,将从所述导入口导入的气体从所述排出口排出,并对所述腔室内的温度进行控制,其中以对所述被处理面板照射所述光时的所述被处理面板的温度为10℃~70℃间的设定温度的方式进行控制。
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