[发明专利]溅射装置和带薄膜的长条膜的制造方法有效
| 申请号： | 201410342230.6 | 申请日： | 2014-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN104294224B | 公开（公告）日： | 2018-07-17 |
| 发明（设计）人： | 梨木智刚;滨田明 | 申请（专利权）人： | 日东电工株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种溅射装置和带薄膜的长条膜的制造方法。本发明的溅射装置(10)用于在长条膜上形成薄膜。本发明的溅射装置(10)包括：真空室(11)；真空泵(12)，其用于对真空室(11)进行排气；供给辊(13)，其用于供给长条膜(17)；收纳辊(16)，其用于收纳长条膜(17)；成膜辊(15)，其设于真空室(11)内，用于沿着成膜辊(15)的表面输送长条膜(17)；靶材(18)，其与成膜辊(15)相对；气体配管(21)，其用于向真空室(11)内供给气体；导辊(28)，其用于引导长条膜(17)；导辊轴(24)，其设于导辊(28)的两端；轴承(25)，其用于支承导辊轴(24)；绝缘体(26)，其用于将导辊轴(24)与轴承(25)之间绝缘，导辊(28)的与长条膜(17)接触的接触面是浮动电位。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射装置 真空室 成膜 导辊 薄膜 收纳 导辊轴 轴承 绝缘体 浮动电位 供给气体 气体配管 支承导辊 供给辊 真空泵 靶材 绝缘 排气 制造 | ||
【主权项】：
1.一种带薄膜的绝缘性的长条膜的制造方法，该带薄膜的长条膜是利用溅射装置在绝缘性的长条膜上形成薄膜而成的，其中，该溅射装置具备：真空室；真空泵，其用于对上述真空室进行排气；供给辊，其用于供给上述长条膜；收纳辊，其用于收纳上述长条膜；成膜辊，其设于上述真空室内，用于沿着该成膜辊的表面输送上述长条膜；靶材，其与上述成膜辊相对；气体配管，其用于向上述真空室内供给气体；放出侧的导辊，其位于上述成膜辊的上游侧，用于引导上述长条膜；上述导辊的与上述长条膜接触的接触面是浮动电位；该制造方法的特征在于，该制造方法包括：在成膜之前，在真空室内利用上述导辊来输送上述长条膜的工序。
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