[发明专利]一种应用于光电子集成阵列芯片封装的光耦合设备无效
申请号: | 201410344629.8 | 申请日: | 2014-07-18 |
公开(公告)号: | CN104122636A | 公开(公告)日: | 2014-10-29 |
发明(设计)人: | 王欣;邓晔;刘建国;祝宁华 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | G02B6/43 | 分类号: | G02B6/43;G02B6/34;G02B6/32 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 宋焰琴 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种应用于半导体光电子集成阵列芯片封装的光耦合设备,包括:管壳或热沉;半导体光电子集成阵列芯片;半导体光电子集成阵列芯片衬底;光学准直透镜阵列;分光棱镜;分光棱镜支架;探测器阵列芯片;光学聚焦透镜阵列;光纤阵列;光纤阵列支架。本发明在光耦合部分通过安装一个分光棱镜将经过光学准直透镜阵列准直的半导体光电子集成阵列芯片输出的部分光信号引入各自对应的探测器阵列芯片中,克服了在半导体光电子集成阵列芯片耦合封装中因微波微带电路复杂或需双端光耦合而无法安置背光探测器阵列芯片的困难,实现了对半导体光电子集成阵列芯片光信号的实时监测。 | ||
搜索关键词: | 一种 应用于 光电子 集成 阵列 芯片 封装 耦合 设备 | ||
【主权项】:
一种应用于半导体光电子集成阵列芯片封装的光耦合设备,该设备包括:半导体光电子集成阵列芯片,该阵列芯片是单片集成多波长激光器阵列芯片或是光调制器阵列芯片或是半导体光放大器阵列芯片,用于输出激光信号;导体光电子集成阵列芯片衬底,用于安放半导体光电子集成阵列芯片;光学准直透镜阵列,用于将半导体光电子集成阵列芯片输出的发散光转变为平行光;分光棱镜,用于将经过光学准直透镜阵列后的平行光分为相互垂直的两个传播方向;分光棱镜支架,用于安放分光棱镜;探测器阵列芯片,用于探测经过分光棱镜后向下90度转向的激光;光学聚焦透镜阵列,用于将直接通过分光棱镜的激光会聚到光纤阵列中;光纤阵列,用于耦合经过光学聚焦透镜阵列聚焦后出射的激光信号;光纤阵列支架,用于安放和固定光纤阵列。
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