[发明专利]一种单晶坩埚自动喷涂设备

摘要

本发明公开了一种单晶坩埚自动喷涂设备，包括放物台，所述放物台上固定卡接单晶坩埚，从而保证单晶坩埚的稳定，所述单晶坩埚内设有一个流体动力室，流体动力室通过双孔导管连接在平台上；通过平台和双孔导管将流体动力室固定，并深入单晶坩埚内，通过双孔导管将二氧化碳和混有氮气的药液高压送入流体动力室的主动风轮上，从而带动主动风轮转动，通过流体动力室内的主动风轮和挡盘将二氧化碳和混有氮气的药液混合均匀从导管上的小孔送至喷枪内，从而对单晶坩埚进行喷涂，同时在单晶坩埚的上方设有罩子，通过抽风机将喷涂中产生的烟尘吸入至布袋中，即可以保证喷涂的药液均匀，同时防止烟尘逸散，保护了环境，有利于工人的身体健康。

主权项

一种单晶坩埚自动喷涂设备，包括放物台，其特征在于，所述放物台上固定卡接单晶坩埚，从而保证单晶坩埚的稳定，所述单晶坩埚内设有一个流体动力室，流体动力室通过双孔导管连接在平台上；所述流体动力室内设有主动风轮，主动风轮下方固连有挡盘，且挡盘的下方中心部连接有一个中空的导管，导管贯穿流体动力室底部室壁，导管在流体动力室的一端外围设有若干个通孔，通孔连接导管内部；所述导管的另一端设有开口，且开口的一端设置在喷枪内；所述流体动力室的顶部设有两个中心对称的进气接口；所述进气接口分别通过管道连接双孔导管内的通道，双孔导管其中的一条通道通过输液管与药液箱连接，且输液管上设有第一氮气进口，所述药液箱的顶部设有第二氮气进口；双孔导的另一条通道连接二氧化碳进气管；所述平台上放设有抽风机，抽风机的抽气口连接端盖，且抽风机连接布袋。