[发明专利]电容式陀螺仪敏感端电容配置装置及其配置方法在审
| 申请号： | 201410345610.5 | 申请日： | 2014-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN104089613A | 公开（公告）日： | 2014-10-08 |
| 发明（设计）人： | 王辉;邹波 | 申请（专利权）人： | 深迪半导体（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5649 | 分类号： | G01C19/5649;G01C19/5656 |
| 代理公司： | 北京英特普罗知识产权代理有限公司 11015 | 代理人： | 齐永红 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电容式陀螺仪敏感端电容配置装置及其配置方法，该配置装置包括敏感端电容组，并具有分割敏感电容组的横梁，使敏感电容组一分为二。该配置装置的配置方法包括(1)在隔断敏感电容组中间增加一道横梁，使电容组一分为二，使电容组的数目增加一倍；(2)当质量块在哥氏力带动下转动时，转动通过弹性梁传递到横梁，也就是敏感电容组的可动梁；(3)每根横梁的两端由两个弹性梁提供支撑；(4)在弹性梁发生位移时，有相同变化趋势的电容组连接在一起并导通。本发明的有益效果为：增加器件性能对工艺的不敏感性，改善器件对线性加速度的抗干扰能力。同时，通过电容组可动梁的隔离，提高器件的吸合电压。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 陀螺仪 敏感 配置 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种电容式陀螺仪敏感端电容配置装置，包括敏感端电容组，其特征在于：具有分割敏感电容组的横梁，使敏感电容组一分为二。
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