[发明专利]制备三氯氢硅的装置

摘要

本发明公开了一种制备三氯氢硅的装置，包括：精馏塔本体，精馏塔本体内自上而下依次限定出精馏区、反应区和蒸馏区；四氯化硅入口，四氯化硅入口设置在精馏区和反应区之间；二氯二氢硅入口，二氯二氢硅入口设置在反应区和蒸馏区之间；重组分出口，重组分出口设置在蒸馏区的底部；轻组分出口，三氯氢硅出口设置在精馏区的顶部；再沸器，再沸器具有液体入口和气体出口，并且液体入口与重组分出口相连，气体出口与蒸馏区相连；以及冷凝器，冷凝器具有气态轻组分入口、回流液出口和三氯氢硅出口，气态轻组分入口与轻组分出口相连，回流液出口与精馏区相连。该装置可以解决二氯二氢硅无法大规模处理的难题和二氯二氢硅转化率低的问题。

主权项

一种制备三氯氢硅的装置，其特征在于，包括：精馏塔本体，所述精馏塔本体内自上而下依次限定出精馏区、反应区和蒸馏区；四氯化硅入口，所述四氯化硅入口设置在所述精馏区和所述反应区之间；二氯二氢硅入口，所述二氯二氢硅入口设置在所述反应区和所述蒸馏区之间；重组分出口，所述重组分出口设置在所述蒸馏区的底部；轻组分出口，所述轻组分出口设置在所述精馏区的顶部；再沸器，所述再沸器具有液体入口和气体出口，并且所述液体入口与所述重组分出口相连，所述气体出口与所述蒸馏区相连；以及冷凝器，所述冷凝器具有气态轻组分入口、回流液出口和三氯氢硅出口，所述气态轻组分入口与所述轻组分出口相连，所述回流液出口与所述精馏区相连。