[发明专利]一种柔性电容式加速度传感器及其制造方法在审
| 申请号： | 201410345761.0 | 申请日： | 2014-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN104142409A | 公开（公告）日： | 2014-11-12 |
| 发明（设计）人： | 刘瑞;张珽;谷文;沈方平;丁海燕;祁明锋 | 申请（专利权）人： | 苏州能斯达电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及加速度测量技术领域，公开了一种柔性电容式加速度传感器，包括：柔性基板；上电极，设于所述柔性基板的上表面；下电极，设于所述柔性基板的下表面；连接层，其包括上连接层和下连接层，所述上连接层设于所述柔性基板和上电极之间并连接所述柔性基板和上电极，所述下连接层设于所述柔性基板和下电极之间并连接所述柔性基板和下电极。本发明还公开了一种用于制造上述柔性电容式加速度传感器方法。本发明将MEMS器件直接制作在柔性基板上，工艺和结构简单，成本较低，所制得的加速度传感器可以应用在任意类型、形状及尺寸的物体表面上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 电容 加速度 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种柔性电容式加速度传感器，其特征在于，包括：柔性基板(1)；上电极(3)，设于所述柔性基板(1)的上表面；下电极(5)，设于所述柔性基板(1)的下表面；连接层，其包括上连接层(2)和下连接层(4)，所述上连接层(2)设于所述柔性基板(1)和上电极(3)之间并连接所述柔性基板(1)和上电极(3)，所述下连接层(4)设于所述柔性基板(1)和下电极(5)之间并连接所述柔性基板(1)和下电极(5)。
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