[发明专利]一种抛光液搅拌装置和方法在审
| 申请号： | 201410345973.9 | 申请日： | 2014-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN105437082A | 公开（公告）日： | 2016-03-30 |
| 发明（设计）人： | 杨涛;卢一泓;张月;崔虎山 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;B01F13/08 |
| 代理公司： | 北京汉昊知识产权代理事务所(普通合伙) 11370 | 代理人： | 朱海波 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种抛光液搅拌装置，该装置包括：混合槽，用于盛放抛光液，所述混合槽底部具有供液体流出的下排出口；磁力搅拌装置，包括固定在混合槽外侧的磁力搅拌器，以及固定在混合槽内侧的磁力搅拌转子；隔膜泵，其流体入口连接所述混合槽底部的下排出口；以及化学机械抛光设备，其连接到隔膜泵的流体出口，在混合槽中混合好的抛光液通过所述隔离泵供入化学机械抛光设备。本发明还提供一种抛光液搅拌方法。本发明不但可以避免直接机械搅拌带来的污染问题，还可以增强对抛光液的搅拌效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 搅拌 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种抛光液搅拌装置，该装置包括：混合槽，用于盛放抛光液，所述混合槽底部具有供液体流出的下排出口；磁力搅拌装置，包括固定在混合槽外侧的磁力搅拌器，以及固定在混合槽内侧的磁力搅拌转子；隔膜泵，其流体入口连接所述混合槽底部的下排出口；以及化学机械抛光设备，其连接到隔膜泵的流体出口，在混合槽中混合好的抛光液通过所述隔离泵供入化学机械抛光设备。
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