[发明专利]硬质材料减薄抛光的工艺方法在审
| 申请号： | 201410347525.2 | 申请日： | 2014-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN104128879A | 公开（公告）日： | 2014-11-05 |
| 发明（设计）人： | 朱孟奎 | 申请（专利权）人： | 上海百兰朵电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 董晓慧 |
| 地址： | 200438 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种硬质材料减薄抛光的工艺方法，其特征是利用合成铜盘研磨盘和研磨液；硬质材料的待减薄抛光面与合成铜盘研磨盘充分接触，对硬质材料进行加重；合成铜盘研磨盘转动对硬质材料进行减薄抛光；合成铜盘研磨盘转动时，同时滴加研磨液。本工艺方法中对硬质材料进行减薄和抛光，使产品的表面平整度可以有效控制在5μm以内，产品去除率达2-3.5μm/min，产品表面粗糙度＜0.2μm。 | ||
| 搜索关键词： | 硬质 材料 抛光 工艺 方法 | ||
【主权项】：
硬质材料减薄抛光的工艺方法，其特征是利用合成铜盘研磨盘和研磨液；硬质材料的待减薄抛光面与合成铜盘研磨盘充分接触，对硬质材料进行加重；合成铜盘研磨盘转动对硬质材料进行减薄抛光；合成铜盘研磨盘转动时，同时滴加研磨液。
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