[发明专利]包括设有至少一个微电子或纳米电子系统的流体通道的设备以及用于实现此设备的方法在审
| 申请号： | 201410347582.0 | 申请日： | 2014-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN104326437A | 公开（公告）日： | 2015-02-04 |
| 发明（设计）人： | 埃里克·奥利耶;卡里纳·马尔库 | 申请（专利权）人： | 原子能与替代能源委员会 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 杨生平;钟锦舜 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 一种设备包括基板，基板包括至少一个微电子和/或纳米结构(NEMS)，该结构包括敏感部分与流体通道，流体通道包括两个侧壁以及连接两个侧壁的上壁以及通过基板形成的下壁以及至少两个开口以便提供在流体通道中的循环，开口限定在两个侧壁之间，该结构定位在流体通道内部，电连接线在该结构与流体通道的外部之间延伸，电连接线在基板上实现并且在侧壁下方经过，该设备还包括中间层，该中间层包括与所述侧壁的基面接触的平坦面，连接线至少部分地被所述中间层覆盖至少直接地在侧壁的基面上方，侧壁通过密封在中间层上使得密封地集成在基板上。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 设有 至少 一个 微电子 纳米 电子 系统 流体 通道 设备 以及 用于 实现 方法 | ||
【主权项】：
一种包括基板的设备，该基板包括至少一个微电子和/或纳米电子结构(NEMS)，该结构包括至少一个悬置部分和限定在所述基板与覆盖件(6)之间的流体通道(2)，所述流体通道(2)包括两个侧壁(6.1)以及由所述覆盖件形成的连接所述两个侧壁(6.1)的上壁(6.2)以及由所述基板形成的下壁以及至少两个开口以便提供在所述通道中的循环，所述微电子和/或纳米电子结构定位在所述流体通道内部，至少一个电连接线(8)在所述微电子和/或纳米电子结构与所述流体通道(2)的外部之间延伸，所述电连接线(8)在所述基板(4)上实现并且在所述侧壁(6.1)中的一个侧壁下方经过，所述设备还包括中间层(20)，所述中间层包括与所述侧壁(6.1)的基面接触的面，所述中间层的所述面具有用于与所述基面密封的能力，所述连接线(8)至少部分地被所述中间层(20)覆盖至少直接地在所述侧壁(6.1)的所述基面的上方，所述侧壁(6.1)通过密封在所述中间层(20)上密封地固定在所述基板(4)上。
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