[发明专利]一种在铁基LED引线支架表面沉积铜+铜-锡复合涂层的工艺在审
申请号: | 201410349438.0 | 申请日: | 2014-07-22 |
公开(公告)号: | CN104109832A | 公开(公告)日: | 2014-10-22 |
发明(设计)人: | 高原;张光耀;王成磊;韦文竹;陆小会 | 申请(专利权)人: | 桂林电子科技大学 |
主分类号: | C23C14/16 | 分类号: | C23C14/16 |
代理公司: | 桂林市华杰专利商标事务所有限责任公司 45112 | 代理人: | 罗玉荣 |
地址: | 541004 广西*** | 国省代码: | 广西;45 |
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摘要: | 本发明一种在铁基LED引线支架表面沉积铜+铜-锡复合涂层的工艺属于表面工程技术领域。并公开了一种在铁基LED引线支架表面沉积铜+铜-锡复合涂层的工艺,它是利用磁控溅射镀或多弧离子镀或射频溅射镀技术,在铁基引线支架表面首先沉积一定厚度的纯铜,之后,再沉积一层铜-锡合金,形成铜+铜-锡合金复合涂层。该技术可替代原来电镀铜,再电镀银的引线支架,具有导电、散热、防氧化、防潮、可焊性等方面的优良性能,涂层附着力好,制造成本低,彻底解决了电镀存在的环境污染问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 led 引线 支架 表面 沉积 复合 涂层 工艺 | ||
【主权项】:
一种在铁基LED引线支架表面沉积铜+钨复合涂层的工艺,属于表面工程技术领域;本发明目的技术特征是:一种在铁基LED引线支架表面沉积铜+铜‑锡复合涂层的工艺,它是利用磁控溅射镀或多弧离子镀或射频溅射镀技术,在铁基引线支架表面首先沉积一定厚度的纯金属铜作为过渡层,之后再沉积一层铜‑锡合金,形成铜+铜‑锡的复合薄膜;本发明的工艺特征是:(1)将铁基引线支架放进丙酮和酒精的混合液中进行超声波清洗;(2)放入沉积设备中,抽真空达到小于5 Pa后,通入高纯Ar气,开启偏压电源使Ar气电离,对引线支架表面进行清理;(3)开启沉积溅射电源,该电源可以是磁控溅射或多弧离子镀或射频溅射镀电源,沉积一层纯铜作为过渡层;(4)最后在引线支架表面再沉积一层铜‑锡层;(5)工艺完成后在真空中随炉冷却至60℃以下,取出引线支架;步骤(2)中所述的清理引线支架表面的工艺参数为:极限真空度3×10‑4 Pa ~3×10‑3Pa,工作气压0.1 Pa~10Pa,负偏压‑700V~‑1000V,清理温度50℃~300℃,清理时间10 min~30min;沉积铜层厚度0.1μm~0.6μm;步骤(3)中,沉积电源可是多弧离子镀电源或者磁控溅射电源或射频溅射电源;本发明的创新点是:采用价格低廉的铁基材料代替原来的铜支架或电镀支架,用价格便宜的铜‑锡合金替代昂贵的金属银,形成具有工艺简便、导电性强、焊接性能好、价格低廉和无污染的铜+铜‑锡合金的沉积层,具有一定的新颖性和实用性。
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