[发明专利]一种具有颜料亲和基团的星型结构的聚合物表面活性剂在降低铜的静态腐蚀速率中的应用在审
| 申请号： | 201410351533.4 | 申请日： | 2014-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN105273637A | 公开（公告）日： | 2016-01-27 |
| 发明（设计）人： | 张建;荆建芬;宋凯;蔡鑫元;姚颖;陈宝明 | 申请（专利权）人： | 安集微电子科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;C23F3/04 |
| 代理公司： | 上海翰鸿律师事务所 31246 | 代理人： | 李佳铭 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新区华东路*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭示一种具有颜料亲和基团的星型结构的聚合物表面活性剂在降低铜的静态腐蚀速率中的应用，其中，该聚合物被添加入化学机械抛光浆料中，且该化学机械抛光浆料还包含：研磨颗粒、络合剂、腐蚀抑制剂和氧化剂。使用本发明的浆料的可以降低铜的静态腐蚀速率，改善在抛光后铜线的碟形凹陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 颜料 亲和 基团 结构 聚合物 表面活性剂 降低 静态 腐蚀 速率 中的 应用 | ||
【主权项】：
一种具有颜料亲和基团的星型结构的聚合物表面活性剂在降低铜的静态腐蚀速率中的应用，其中，所述聚合物被添加入化学机械抛光浆料中，且所述化学机械抛光浆料还包含：研磨颗粒、络合剂、腐蚀抑制剂和氧化剂。
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