[发明专利]一种分子-电子感应式加速度计噪声测量方法在审
| 申请号： | 201410354921.8 | 申请日： | 2014-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN104123419A | 公开（公告）日： | 2014-10-29 |
| 发明（设计）人： | 李大一;周求湛;陈永志;瞿世鲲;王宁;赵佰军 | 申请（专利权）人： | 江苏精湛光电仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 董旭东 |
| 地址： | 225128 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了感应式惯性传感技术领域内的一种分子‑电子感应式加速度计噪声测量方法，包括以下：1）建立包含能斯特‑普朗克方程和层流场的一维稳态模型；2）根据敏感元件设计尺寸，在1）所建模型内画出加速度计敏感元件一个孔的一维结构；3）输入加速度计电解液导电率、相对介电常数、电解液密度、粘滞度这四个参数值；4）在能斯特‑普朗克方程中定义电极、电势及边界条件和约束方程；5）在层流场中定义入口、出口、流速及边界条件和约束方程；6）对求解域进行网格剖分；7）计算；8）计算完毕后在结果中查看整个求解域的电流密度，本发明大大提高了研发效率，节约研发成本，可用于分子‑电子感应式加速度计噪声测量中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分子 电子 感应 加速度计 噪声 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种分子-电子感应式加速度计噪声测量方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1）在有限元分析软件COMSOL Multiphysics中建立包含能斯特-普朗克方程和层流场的一维稳态模型；步骤2）根据敏感元件设计尺寸，在步骤1）所建模型内画出所设计的分子-电子感应式加速度计敏感元件一个孔的一维结构；步骤3）在步骤1）能斯特-普朗克方程和层流场中输入所设计的分子-电子感应式加速度计电解液导电率、相对介电常数、电解液密度、粘滞度这四个参数值；步骤4）在能斯特-普朗克方程中定义电极、电势及边界条件和约束方程；步骤5）在层流场中定义入口、出口、流速及边界条件和约束方程；步骤6）对求解域进行网格剖分；步骤7）计算；步骤8）计算完毕后在结果中查看整个求解域的电流密度；步骤9）根据电流密度和内部噪声的正比关系分析设计参数下分子-电子感应式加速度计内部噪声水平，电流密度数值越小的对应的分子-电子感应式加速度计内部噪声越低。
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