[发明专利]一种分子-电子感应式加速度计噪声测量方法在审
申请号: | 201410354921.8 | 申请日: | 2014-07-24 |
公开(公告)号: | CN104123419A | 公开(公告)日: | 2014-10-29 |
发明(设计)人: | 李大一;周求湛;陈永志;瞿世鲲;王宁;赵佰军 | 申请(专利权)人: | 江苏精湛光电仪器股份有限公司 |
主分类号: | G06F17/50 | 分类号: | G06F17/50 |
代理公司: | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人: | 董旭东 |
地址: | 225128 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了感应式惯性传感技术领域内的一种分子‑电子感应式加速度计噪声测量方法,包括以下:1)建立包含能斯特‑普朗克方程和层流场的一维稳态模型;2)根据敏感元件设计尺寸,在1)所建模型内画出加速度计敏感元件一个孔的一维结构;3)输入加速度计电解液导电率、相对介电常数、电解液密度、粘滞度这四个参数值;4)在能斯特‑普朗克方程中定义电极、电势及边界条件和约束方程;5)在层流场中定义入口、出口、流速及边界条件和约束方程;6)对求解域进行网格剖分;7)计算;8)计算完毕后在结果中查看整个求解域的电流密度,本发明大大提高了研发效率,节约研发成本,可用于分子‑电子感应式加速度计噪声测量中。 | ||
搜索关键词: | 一种 分子 电子 感应 加速度计 噪声 测量方法 | ||
【主权项】:
1.一种分子-电子感应式加速度计噪声测量方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1)在有限元分析软件COMSOL Multiphysics中建立包含能斯特-普朗克方程和层流场的一维稳态模型;步骤2)根据敏感元件设计尺寸,在步骤1)所建模型内画出所设计的分子-电子感应式加速度计敏感元件一个孔的一维结构;步骤3)在步骤1)能斯特-普朗克方程和层流场中输入所设计的分子-电子感应式加速度计电解液导电率、相对介电常数、电解液密度、粘滞度这四个参数值;步骤4)在能斯特-普朗克方程中定义电极、电势及边界条件和约束方程;步骤5)在层流场中定义入口、出口、流速及边界条件和约束方程;步骤6)对求解域进行网格剖分;步骤7)计算;步骤8)计算完毕后在结果中查看整个求解域的电流密度;步骤9)根据电流密度和内部噪声的正比关系分析设计参数下分子-电子感应式加速度计内部噪声水平,电流密度数值越小的对应的分子-电子感应式加速度计内部噪声越低。
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