[发明专利]紫外感光镧锶锰氧溶胶及其微细图形化薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种紫外感光镧锶锰氧溶胶的制备方法，由La(NO₃)₃·6H₂O、Sr(CH₃COO)₂·0.5H₂O、Mn(CH₃COO)₂·4H₂O、2,2′-联吡啶按照摩尔比为0.67:0.33:1:(0.665～1.33)制成；制备微细化薄膜的方法为：将该溶胶经浸渍提拉法制备出感光性La_0.67Sr_0.33MnO₃凝胶薄膜；然后依次经紫外掩模法或双光束激光干涉法曝光、溶洗和热处理得到微细图形化的La_0.67Sr_0.33MnO₃薄膜。本发明制备工艺简单、制备成本低、环境污染小；所制备La_0.67Sr_0.33MnO₃薄膜的微细图形结构规整，线度可小至微米级；制备过程易于控制，适用于工业化生产。

主权项

紫外感光镧锶锰氧溶胶的制备方法，其特征在于，是由La(NO₃)₃·6H₂O、Sr(CH₃COO)₂·0.5H₂O、Mn(CH₃COO)₂·4H₂O、2,2′‑联吡啶按照摩尔比为0.67:0.33:1:(0.665～1.33)制成的La_0.67Sr_0.33MnO₃感光溶胶，具体包括以下步骤：步骤1：将Sr(CH₃COO)₂·0.5H₂O加入无水甲醇中，室温下搅拌使其完全溶解，然后加入2,2′‑联吡啶，继续搅拌20～30min，形成溶液A；将Mn(CH₃COO)₂·4H₂O加入无水甲醇中，室温下搅拌使其完全溶解，然后加入2,2′‑联吡啶，继续搅拌20～30min，形成溶液B；将La(NO₃)₃·6H₂O加入无水甲醇中，室温下搅拌使其完全溶解，经室温下搅拌后形成溶液C；步骤2：将所述步骤1得到的溶液A、溶液B、和溶液C按镧、锶、锰三种金属离子摩尔比为La³⁺:Sr²⁺:Mn⁴⁺＝0.67:0.33:1混合，得到化学组成为La_0.67Sr_0.33MnO₃的感光溶胶，加入适量甲醇定容至金属离子总浓度为0.1～0.5mol/L。