[发明专利]一种适用于投影光刻机的实时检焦调焦方法

摘要

本发明提供一种适用于投影光刻机的实时检焦调焦方法，由光源(1)经准直透镜成为平行光束，通过投影光阑(3)成为一道狭缝。狭缝经成像镜组(4)成像于硅片(6)表面。从硅片表面反射的光束经成像镜组(10、11)成像在线阵CCD(13)上。工件台(7)通过真空吸盘(8)载着硅片(6)在Z方向上下移动，硅片表面ΔZ的位移将使狭缝像在线阵CCD(13)上产生ΔX的位移。线阵CCD通过Cameralink传输线(14)将图像信息传输到图像采集控制卡(15)。图像处理采集卡(15)对图像信息进行亚像素处理，计算出离焦量，控制工件台运动，并实时检测离焦量，直到离焦量满足精度要求。图像采集控制卡(15)通过RS232串口(16)同计算机(17)通信，可以进行初始设置和调试。

主权项

一种适用于投影光刻机的实时检焦调焦方法，其特征在于步骤如下：步骤(1)、光源(1)经准直透镜成为平行光束，经反射镜(2)照射到投影光阑(3)，平行光束经投影光阑(3)后成为一道狭缝光束，经成像物镜组(4)和反射镜(5)以较大的入射角(90‑γ)成像在硅片表面(6)，从硅片表面(6)反射的狭缝光束，经反射镜(9)，通过成像镜组(10、11)，再经过反射镜(12)，成像在线阵CCD(13)上；步骤(2)、线阵CCD(13)通过Cameralink传输线(14)将图像信息传给图像采集控制卡(15)，图像采集控制卡对图像进行亚像素处理，得到狭缝像的中心位置，根据预设的最佳焦面位置计算出离焦量；步骤(3)、图像采集控制卡(15)根据离焦量，控制工件台(7)Z方向电机运转方向和速度，真空吸盘(8)吸住硅片(6)，由工件台(7)载着做垂直Z方向的移动，在Z方向上产生ΔZ的位移将使狭缝光束的像在线阵CCD(13)上产生ΔX的位移，从而改变离焦量，直到离焦量满足精度要求。