[发明专利]炉管清洗工艺在审
| 申请号： | 201410356934.9 | 申请日： | 2014-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN104259153A | 公开（公告）日： | 2015-01-07 |
| 发明（设计）人： | 张召;王智;苏俊铭;倪立华 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/032 | 分类号： | B08B9/032;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种炉管清洗工艺，包括：利用二氯乙烯对炉管进行清洗的步骤，还包括：利用升温湿氧工艺对炉管进行清洗的步骤，所述升温湿氧工艺利用水蒸汽将炉管中的金属污染物带走，所述升温湿氧工艺包括：升温步骤，用于将炉管进行升温至第一温度，并通入氢氧点火后形成的水汽；稳定步骤，用于将炉管维持所述第一温度并持续一段时间，并通入氢氧点火后形成的水汽；降温步骤，用于将炉管从所述第一温度降低至第二温度，并通入氢氧点火形成的水汽。本发明利用二氯乙烯工艺与升温湿氧工艺分别对炉管进行清洗，将炉管中的金属污染最大程度的降低。 | ||
| 搜索关键词： | 炉管 清洗 工艺 | ||
【主权项】：
一种炉管清洗工艺，包括：利用二氯乙烯对炉管进行清洗的步骤，其特征在于，还包括：利用升温湿氧工艺对炉管进行清洗的步骤，所述升温湿氧工艺利用水蒸汽将炉管中的金属污染物带走，所述升温湿氧工艺包括：升温步骤，用于将炉管进行升温至第一温度，并通入水汽，所述水汽为氢氧点火后形成；稳定步骤，用于将炉管维持所述第一温度并持续一段时间，并通入水汽，所述水汽为氢氧点火后形成；降温步骤，用于将炉管从所述第一温度降低至第二温度，并通入水汽，所述水汽为氢氧点火后形成。
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