[发明专利]一种热交换法（HEM）蓝宝石仔晶的加工方法

摘要

本发明涉及一种热交换法（HEM）蓝宝石仔晶的加工方法，包括如下步骤：（1）在蓝宝石晶体上划出两条与C轴平行的仔晶晶碇开方线；（2）沿所划开方线进行开方；（3）清洁开方后的仔晶晶碇开方断面；（4）对仔晶晶碇进行表征，在仔晶晶碇开方断面上标识出缺陷区域；（5）将仔晶晶碇固定在立式数控加工中心的工作台上，掏取仔晶晶棒；（6）对照仔晶晶碇开方断面上的缺陷标识，将缺陷区域在仔晶晶棒上标识出来；（7）用金刚石单线切割机床将仔晶晶棒截断；（8）在平面磨床上将仔晶截断断面磨平，可大大提高晶体利用率，其晶体利用率可达60～80%，仔晶质量可控，加工过程操作简单，提高企业生产效率，降低企业成本。

主权项

一种热交换法（HEM）蓝宝石仔晶的加工方法，其特征在于，采用如下步骤加工蓝宝石仔晶：（1）在蓝宝石晶体上划出两条与C轴平行的仔晶晶碇开方线Ａ、Ｂ，两开方线间距Ｌ１95～100mm；（2）用金刚石单线切割机床沿所划开方线进行开方，开方速度0.1～0.5mm/min；（3）用无水酒精清洁开方后的仔晶晶碇开方断面，去除油污及其它污染物；（4）在暗室对仔晶晶碇进行表征，在仔晶晶碇开方断面上标识出缺陷区域；（5）将仔晶晶碇固定在立式数控加工中心的工作台上，掏取仔晶晶棒，掏棒速度3～10mm/min；（6）对照仔晶晶碇开方断面上的缺陷标识，将缺陷区域在仔晶晶棒上标识出来；（7）用金刚石单线切割机床将仔晶晶棒截断，截断速度0.5～1.0mm/min，截断长度36～41mm；（8）在平面磨床上将仔晶截断断面磨平，平面度误差±0.1mm，砂轮进给速度0.01mm/行程。