[发明专利]用于制造有机发光显示器的方法

摘要

提供了一种用于制造有机发光显示器的方法，所述方法包括下述步骤：准备具有中空部分的台子和位于台子上或上方并且结合到掩模片的掩模框架；获得台子与掩模框架之间的距离信息；确定获得的台子与掩模框架之间的距离信息是否对应于参考距离信息；以及控制源单元以向着台子提供薄膜形成材料。

主权项

1.一种用于制造有机发光显示器的设备，所述设备包括：腔室；台子，设置在腔室中以具有中空部分，所述中空部分朝向腔室的顶表面和底表面开口；位移传感器，设置在台子上以测量台子与位于台子上或上方的测量对象之间的距离信息；以及控制器，被构造成基于由位移传感器测量的距离信息输出控制信号，其中，控制器包括：输入单元，接收由位移传感器测量的距离信息；存储单元，存储预定的参考距离信息；确定单元，确定由输入单元接收的距离信息是否被包括在参考距离信息中；以及输出单元，基于由确定单元确定的信息输出控制信号。