[发明专利]利用液体传递兆赫级振动的超声抛光方法及其抛光装置有效

专利信息
申请号: 201410360884.1 申请日: 2014-07-28
公开(公告)号: CN104117878B 公开(公告)日: 2017-01-18
发明(设计)人: 何勍;张玉成 申请(专利权)人: 辽宁工业大学
主分类号: B24B1/04 分类号: B24B1/04
代理公司: 沈阳技联专利代理有限公司21205 代理人: 张志刚
地址: 121001 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 利用液体传递兆赫级振动的超声抛光方法及其抛光装置,涉及一种抛光方法及其装置,该方法通过柔性的耦合剂传递振动,将振子的高频超声振动传递到振动抛光工具上;实现了不依赖于整体模态分析与模态设计的振动抛光工具。并将该方法应用在硅片抛光领域,设计了一套利用液体传递兆赫级振动的超声抛光装置,对振子上的压电陶瓷片施加适宜频率的交变电压的激励,振子将在设计的模态下共振,高频的振动通过耦合剂传输到振动抛光工具,最终将兆声振动传输至抛光液,使抛光液颗粒有效发挥作用,从而获得被抛光硅片完整的表面晶格、超高形面精度以及极低的粗糙度。此利用液体传递振动的方法,使振动的附加具有更强的灵活性,拓展了振动利用的范围。
搜索关键词: 利用 液体 传递 兆赫 振动 超声 抛光 方法 及其 装置
【主权项】:
利用液体传递兆赫级振动的超声抛光方法,其特征在于,所述方法通过柔性的耦合剂传递振动,将振子的高频超声振动传递到振动抛光工具上;振子与振动抛光工具独立,振源产生高频的超声波,经选定的耦合剂传输到振动抛光工具上,并直接将振动加载到被加工工件上,最终将兆声振动传输至与工件紧密接触的抛光液,使抛光颗粒有效的发挥作用,振子处于共振模式,耦合剂传递振动,振动抛光工具处于强迫振动、非共振模式,振动直接加载到了被加工工件上,振动抛光工具磨损后可独立更换;所述振源为圆片状的兆声压电振子,振子工作频率在1MHz以上;所述耦合剂的选择,根据两种介质的声阻抗率来选择耦合剂;所述振动抛光工具和被加工工件之间不能有气体隔层,用液体排出空气,使被加工对象吸附在振动抛光工具上。
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