[发明专利]真空卡盘在审
| 申请号： | 201410366516.8 | 申请日： | 2014-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN105291006A | 公开（公告）日： | 2016-02-03 |
| 发明（设计）人： | 张镇磊;金一诺;张怀东;王坚;王晖 | 申请（专利权）人： | 盛美半导体设备(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00;H01L21/683 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 张振军 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种真空卡盘，包括：中空电机，该中空电机具有中空轴，该中空轴的一端由中空电机的端面伸出；密封圈固定环，所述密封圈固定环与所述中空电机的端面固定，所述密封圈固定环具有第一孔洞，该中空轴的一端伸入所述第一孔洞，所述中空轴的外侧壁与所述第一孔洞的侧壁之间具有空隙；密封圈，所述密封圈固定在所述第一孔洞的侧壁上，所述密封圈与所述中空轴的外侧壁接触。本发明能够在提供高速旋转功能的同时，实现良好的密封效果。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 卡盘 | ||
【主权项】：
一种真空卡盘，其特征在于，包括：中空电机，该中空电机具有中空轴，该中空轴的一端由中空电机的端面伸出；密封圈固定环，所述密封圈固定环与所述中空电机的端面固定，所述密封圈固定环具有第一孔洞，该中空轴的一端伸入所述第一孔洞，所述中空轴的外侧壁与所述第一孔洞的侧壁之间具有空隙；密封圈，所述密封圈固定在所述第一孔洞的侧壁上，所述密封圈与所述中空轴的外侧壁接触。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于盛美半导体设备(上海)有限公司，未经盛美半导体设备(上海)有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410366516.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种测量尺板
- 下一篇：一种五面加热的箱式电炉
