[发明专利]尺寸减小的半导体装置及其制造方法与操作方法在审
申请号: | 201410369092.0 | 申请日: | 2014-07-30 |
公开(公告)号: | CN105321872A | 公开(公告)日: | 2016-02-10 |
发明(设计)人: | 李亚叡;陈冠复 | 申请(专利权)人: | 旺宏电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/768 | 分类号: | H01L21/768;H01L23/528;G11C16/02 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明是有关于一种尺寸减小的半导体装置及其制造方法与操作方法。该半导体装置,包括一基板以及多个区块,此多个区块形成一串列。各个区块是位于基板上且包括配置于基板上的多条字元线。串列包括一单一的接地选择线,配置于此多个区块的一侧,及一单一的串列选择线是配置于此多个区块的另一侧。在一些实施例中,此多个区块的字元线定义将串列中的各个区块与其相邻区块分离的间隙。并可在串列的区块之间的各个间隙配置一或多条虚设字元线。本发明同时还提供了的一种此半导体装置的制造方法及操作方法。借此本发明能够同时减小半导体装置的尺寸及避免边缘字元线热电子干扰。 | ||
搜索关键词: | 尺寸 减小 半导体 装置 及其 制造 方法 操作方法 | ||
【主权项】:
1.一种尺寸减小的半导体装置,其特征在于,其包括:一基板;多个区块,形成一串列,其中各个区块是设置于该基板上,且各个区块包括配置于该基板上的多条字元线;一单一的接地选择线,与该串列关联,其中该单一的接地选择线是配置于该些区块的一侧;以及一单一的串列选择线,与该串列关联,其中该单一的串列选择线是配置于该些区块的另一侧;其中,在位于该串列的该些区块中的两相邻区块之间的间隙配置有虚设字元线,该虚设字元线是浮接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造