[发明专利]一种平面光波导器件的制作方法有效
| 申请号： | 201410370431.7 | 申请日： | 2014-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN104090335A | 公开（公告）日： | 2014-10-08 |
| 发明（设计）人： | 王杉;李朝阳 | 申请（专利权）人： | 四川飞阳科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/13 | 分类号： | G02B6/13 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 610209 四川省成都市双*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种平面光波导器件的制作方法，包括：提供表面形成有硼磷硅玻璃膜层的平面光波导器件的半成品；将所述半成品放置在退火管中；向所述退火管中通入含氧气的保护气体，为所述退火管内提供富氧氛围；加热所述退火管，使所述退火管内部的温度上升至1050℃以上，对所述半成品进行高温退火，以对所述半成品表面进行平坦化。本发明中在高温退火过程中，向退火管中通入含氧气的保护气体，为硼磷硅玻璃膜层回流退火提供一个富氧氛围，由于氧能够有效抑制掺杂离子在二氧化硅玻璃膜层中的扩散，从而有效抑制高温退火工艺中掺杂离子的析出，提高了高温退火工艺形成的平面光波导器件的质量以及产品的成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 波导 器件 制作方法 | ||
【主权项】：
一种平面光波导器件的制作方法，其特征在于，包括：提供表面形成有硼磷硅玻璃膜层的平面光波导器件的半成品；将所述半成品放置在退火管中；向所述退火管中通入含氧气的保护气体，为所述退火管内提供富氧氛围；加热所述退火管，使所述退火管内部的温度上升至1050℃以上，对所述半成品进行高温退火，以对所述半成品表面进行平坦化。
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