[发明专利]具有共构微机电感测单元的微机电系统元件在审
| 申请号： | 201410372664.0 | 申请日： | 2014-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN105319393A | 公开（公告）日： | 2016-02-10 |
| 发明（设计）人： | 许郁文;吴嘉昱;林士杰;林式庭 | 申请（专利权）人： | 立锜科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/02 | 分类号： | G01P15/02;G01P15/18 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 陈肖梅;谢丽娜 |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有共构微机电感测单元的微机电系统元件，包含：不同感测型态的第一和第二微机电感测单元，其中该第一微机电感测单元的部分结构和第二微机电感测单元的部分结构重叠设置在同一投影面积内。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 微机 电感 单元 系统 元件 | ||
【主权项】：
一种具有共构微机电感测单元的微机电系统元件，其特征在于，包含：不同感测型态的第一和第二微机电感测单元，其中该第一微机电感测单元的部分结构和第二微机电感测单元的部分结构重叠设置在同一投影面积内。
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