[发明专利]一种飞秒激光双光子聚合微纳加工系统及方法

摘要

本发明公开了一种飞秒激光双光子聚合微纳加工系统及方法，所述系统包括：飞秒激光器、外光路调制单元、取像装置、聚焦透镜、位移台、计算机以及监控装置，其中，取像装置，用于对三维微纳器件的截面图形逐层进行取像，以使调制后的飞秒激光形成按照所述各层截面图形排列的并行光束。本发明不仅可以同时加工多个三维微纳器件，还可以对任意复杂的三维微纳器件进行逐层加工，从而提高加工效率和工艺流量；此外，在进行逐层微纳加工的过程中，位移台只需沿微纳器件的截面厚度方向运动，这样不仅可以提高加工效率和工艺流量，还可以降低其在平面二维方向的定位精度要求，从而使加工工艺简化，难度降低。

主权项

一种飞秒激光双光子聚合微纳加工系统，其特征在于，包括：飞秒激光器，用于产生飞秒激光；外光路调制单元，用于对所述飞秒激光进行调制；取像装置，用于对三维微纳器件的截面图形逐层进行取像，以使调制后的飞秒激光形成按照所述各层截面图形排列的并行光束；聚焦透镜，用于将按照所述各层截面图形排列的并行光束聚焦在光敏材料内，形成由多个焦点组成的平面图像，各焦点处光敏材料发生固化，以实现所述三维微纳器件的每层截面结构一次投影成形；位移台，用于对放置在其上的所述光敏材料的位置进行微动调节；计算机，用于对所述位移台和所述取像装置进行控制；监控装置，用于对所述光敏材料的微纳加工过程进行实时监控。