[发明专利]射束监视系统以及粒子束照射系统

摘要

本发明提供一种射束监视系统以及粒子束照射系统，能够进行准确的位置确定，并能够使是适当的照射的判断高精度化。射束监视系统，由将相邻的多个电极丝作为一个组的多个组构成电荷收集电极。另外，以对于某汇集的连续的测量通道，至少2个通道在物理上不连续的方式通过与属于组的电极丝相同个数的布线将全部电极丝与信号处理装置的通道连接起来，使得从同一布线输入从各个组中选择出的一个电极丝输出的检测信号。进而，信号处理装置22求出表示所输入的检测信号是属于哪个组的电极丝的检测信号的组信息，将包含组信息的处理信号输出到射束监视控制装置，求出通过了电极丝的带电粒子束的位置和射束宽度。

主权项

一种射束监视系统，其特征在于，具备：对通过的带电粒子束进行检测的收集电极，其具有多个将相邻的多个电极丝作为一个组的上述组，该组被分割为由相邻的多个上述电极丝构成的分区，属于某分区的各个上述电极丝与属于其他组的分区的任意一个上述电极丝分别通过同一布线以在每个组中不同的方式置换地连接，使得至少2个通道在物理上不连续；信号处理装置，其根据与计划的射束照射目标位置信息相关联的信息和上述置换连接的信息，对从上述电极丝输出的检测信号进行排序并作为处理信号来输出；以及射束监视控制装置，其根据从上述信号处理装置输出的处理信号，计算通过了上述电极丝的带电粒子束的射束位置和射束宽度。