[发明专利]一种薄膜产品制备过程中的监控设备无效
| 申请号： | 201410379035.0 | 申请日： | 2014-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN105316643A | 公开（公告）日： | 2016-02-10 |
| 发明（设计）人： | 李洋;陈刚;杨树峰;李涛;肖剑林;李华清 | 申请（专利权）人： | 陕西银河景天电子有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 西安利泽明知识产权代理有限公司 61222 | 代理人： | 段国刚 |
| 地址： | 710075 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开一种薄膜产品制备过程中的监控设备，包括光源发射系统、驱动电机、工件架、晶控仪探头、监控片旋转机构、信号接收系统、信号转换系统、晶控仪、计算机、真空室和监控片，其特征在于，所述监控片旋转机构和晶控仪探头设置在真空室内，监控片旋转机构由内环、外环和中间的连接钢丝组成。本发明减小了监控片上不同地方的厚度差，保证了光度信号的准确度，提髙了膜层厚度控制精度，结构简单合理，成本低廉，有很好的操作性和实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 产品 制备 过程 中的 监控 设备 | ||
【主权项】：
一种薄膜产品制备过程中的监控设备，包括光源发射系统、驱动电机、工件架、晶控仪探头、监控片旋转机构、信号接收系统、信号转换系统、晶控仪、计算机、真空室和监控片，其特征在于，所述监控片旋转机构和晶控仪探头设置在真空室内，监控片旋转机构由内环、外环和中间的连接钢丝组成。
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