[发明专利]激光成丝在透明材料中非烧蚀光声压缩加工的方法和装置

摘要

激光成丝在透明材料中非烧蚀光声压缩加工的方法和装置。一种利用沿着纵向光束轴以分布式的方式聚焦入射激光光束的光学结构通过激光成丝在材料中处理孔的装置、系统和方法。所述分布式聚焦方法使得能够在长距离形成丝，并且调整激光和聚集参数来决定丝的传播和终点从而产生单端/双端停止孔或通孔。从堆叠的或巢状结构中选择的透明衬底可以具有在该衬底内或者穿过该衬底所形成的孔而不影响邻近的衬底。这些分布式聚焦方法支持在硼硅玻璃和相似的脆性材料以及半导体中的形成具有远超10毫米的长度的丝。

主权项

一种用于加工透明目标材料的光声压缩方法，该方法包括以下步骤：从激光源向目标施加具有合适的波长、合适的突发脉冲重复速率以及合适的突发脉冲能量的激光脉冲的至少一个突发，其中，施加到所述目标的其中所述激光脉冲与所述目标上的加工开始点相接触的斑点处的脉冲能量或通量的总量大于开始并传播光声压缩加工所需的临界能量等级，但是低于开始烧蚀加工所需的门限临界能量等级。