[发明专利]用于在透明材料内执行激光成丝的方法和设备

摘要

本申请涉及用于在透明材料内执行激光成丝的方法和设备。描述了用于在透明材料中形成连续的激光细丝的系统和方法。对超快激光脉冲的突发进行聚焦，使得在被处理的材料外部形成束腰，而没有形成外部等离子体沟道，同时在材料内的延伸区域内形成足够的能量密度以支持形成连续细丝，而没有导致材料内的光学破坏。根据该方法形成的细丝可以呈现直到并超过10mm的长度。在一些实施方式中，有像差光学聚焦元件用于产生外部束腰，同时在材料内产生入射光束的分布式聚焦。各种系统被描述为便于在透明基板内形成细丝阵列，以用于分割/分离和/或标记。细丝的光学监测可以用于提供反馈以便于处理的主动控制。

主权项

一种对透明材料进行激光处理的方法，所述透明材料对所述激光的波长是透明的，所述方法包括如下步骤：提供激光束，所述激光束包括激光脉冲的突发，所述突发被限定为单个激光脉冲或多个激光脉冲；相对于所述透明材料对所述激光束进行外部地聚焦，以在所述透明材料的外部的位置处形成光束腰，同时避免形成外部等离子体沟道；以及对所述激光脉冲进行聚焦，使得在所述透明材料内维持足够的能量密度，以在没有引起所述透明材料的光学破坏的情况下在所述透明材料中形成连续激光细丝。