[发明专利]电容式微机械加速度计及其制造方法

摘要

本发明公开了电容式微机械加速度计及其制造方法，属于微机械传感器的技术领域。加速度计包括：硅片基座，形成在硅片基座上的绝缘层，沉积在绝缘层上的检测电容层，以及多晶硅活动结构屏蔽层，多晶硅活动结构层通过检测电容层的支撑悬空，多晶硅活动结构屏蔽层中的质量块在加速度作用下带动支撑梁发生位移，检测电容极板之间的电场线会发生变化，由电场线变化得到的电容变化值即为测量的加速度信息。利用边缘电场效应设计的电容式微机械加速度计，在大量程下具有大灵敏度，在激励电容和外加激励电压作用下,检测电容使其具有自检功能且不会发生吸附失效。

主权项

电容式微机械加速度计，其特征在于包括：硅片基座，形成在硅片基座上的绝缘层，沉积在绝缘层上的检测电容层，以及多晶硅活动结构屏蔽层，所述多晶硅活动结构层通过检测电容层的支撑悬空，所述检测电容层中心与多晶硅活结构屏蔽层中心重合，所述多晶硅活动结构屏蔽层包括：关于质心对称的四边形质量块、第一支撑梁、第二支撑梁，所述质量块第一、第二侧边的一端分别延伸有第一、第二连接梁，质量块第一侧边、第二侧边关于质心对称，第一支撑梁通过第一连接梁与所述质量块连接，第二支撑梁通过第二连接梁与所述质量块连接，第一、第二连接梁关于所述质量块的质心对称，第一、第二支撑梁关于所述质量块的质心对称，所述第一、第二支撑梁上分别连接有锚点区；所述检测电容层包括：结构相同的第一极板、第二极板、与支撑梁上锚点区相对应的信号引线区，所述第一、第二极板均附着有梳齿，第一、第二极板的梳齿相互交叠。