[发明专利]一种基于双焦镜的非接触透镜中心厚度测量装置在审
| 申请号： | 201410383553.X | 申请日： | 2014-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN104154868A | 公开（公告）日： | 2014-11-19 |
| 发明（设计）人： | 徐敏;王伟;王军华;杨爱萍 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 陆飞;盛志范 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于光学测量技术领域，具体为一种基于双焦镜的非接触透镜中心厚测量装置。测量装置包括激光器、1/2波片、扩束准直镜、分光棱镜、双焦透镜、显微物镜、检偏器、聚光镜、CCD；其中：所述激光器、1/2波片、扩束准直镜、分光棱镜、双焦透镜、显微物镜从左到右依次排列，所述检偏器、聚光镜、CCD从上到下设置在分光棱镜的下方。本发明利用双焦点偏振干涉原理，提高非接触测量精度，简化测量过程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 双焦镜 接触 透镜 中心 厚度 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种基于双焦镜的非接触透镜中心厚度测量装置，其特征在于包括激光器（1）、1/2波片（2）、扩束准直镜（3）、分光棱镜（4）、双焦透镜（5）、显微物镜（6）、检偏器（7）、聚光镜（8）、CCD（9）；其中：所述激光器（1）、1/2波片（2）、扩束准直镜（3）、分光棱镜（4）、双焦透镜（5）、显微物镜（6）沿光轴从左到右依次排列，所述检偏器（7）、聚光镜（8）、CCD（9）从上到下依次设置在分光棱镜的下方。
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