[发明专利]物理量传感器、电子设备、以及移动体在审
| 申请号： | 201410384428.0 | 申请日： | 2014-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN104345174A | 公开（公告）日： | 2015-02-11 |
| 发明（设计）人： | 田中悟 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 黄威;苏萌萌 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够使配线的布局简单，并实现小型化的物理量传感器、电子设备以及移动体。本发明所涉及的物理量传感器(100)包括：基板(10)；第一可动体(20a)，其被配置于基板(10)上，且能够围绕第一支承轴(Q1)进行位移，并且具备第一可动电极部(24a)；第二可动体(20b)，其被配置于基板(10)上，且能够围绕第二支承轴(Q2)进行位移，并且具备第二可动电极部(23b)；固定电极部(53)，其以在俯视观察时与第一可动电极部(24a)以及第二可动电极部(23b)重合的方式而被配置于基板(10)上。 | ||
| 搜索关键词： | 物理量 传感器 电子设备 以及 移动 | ||
【主权项】：
一种物理量传感器，其特征在于，具有：基板；第一可动体，其被配置于所述基板上，且能够围绕第一支承轴进行位移，并且具备第一可动电极部；第二可动体，其被配置于所述基板上，且能够围绕第二支承轴进行位移，并且具备第二可动电极部，固定电极部，其以在俯视观察时与所述第一可动电极部以及所述第二可动电极部重叠的方式而被配置于所述基板上。
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