[发明专利]一种耐受振动和冲击的双层红外焦平面微桥结构在审
| 申请号： | 201410384651.5 | 申请日： | 2014-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN104111119A | 公开（公告）日： | 2014-10-22 |
| 发明（设计）人： | 李伟;吕小龙;廖家科;陈旭;王军;蒋亚东 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01J5/20 | 分类号： | G01J5/20;G01J5/02 |
| 代理公司： | 成都华典专利事务所(普通合伙) 51223 | 代理人： | 徐丰 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种耐受振动和冲击的双层红外焦平面微桥结构，涉及非制冷红外焦平面技术领域，其包括L型桥腿和基于热敏薄膜层的复合桥面，L型桥腿与复合桥面刻蚀连接，以及外围固定框、位于L型桥腿拐角处的连接短桥腿、位于微桥结构中部的支柱及其支撑的顶层红外吸收层。所述L型桥腿经连接桥腿与外围固定框连接，外围固定框和连接桥腿均由绝缘材料构成。本发明引入外围固定框，解决了传统微桥结构在经受外部振动和冲击激励时，微桥结构桥面形变最大、结构不稳定的问题。这种双层红外焦平面微桥结构能克服现有技术中存在的缺陷，提高微测辐射热计的工作性能，适宜应用于产业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 耐受 振动 冲击 双层 红外 平面 结构 | ||
【主权项】：
一种耐受振动和冲击的双层红外焦平面微桥结构，其特征在于：包括L型桥腿和基于热敏薄膜层的复合桥面，L型桥腿与复合桥面刻蚀连接，还包括外围固定框、位于L型桥腿拐角处的连接短桥腿、位于微桥结构中部的支柱及其支撑的顶层红外吸收层，所述L型桥腿经连接桥腿与外围固定框连接，外围固定框和连接桥腿均由绝缘材料构成。
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