[发明专利]具有交错的控制结构的三维阵列存储器装置有效
申请号: | 201410385670.X | 申请日: | 2014-08-07 |
公开(公告)号: | CN105448922B | 公开(公告)日: | 2018-05-25 |
发明(设计)人: | 李冠儒 | 申请(专利权)人: | 旺宏电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/115 | 分类号: | H01L27/115;H01L27/11597;G11C16/06 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种具有交错的控制结构的三维阵列存储器装置,其包括基底上半导体材料条纹的多个第一叠层与多个第二叠层。基底上这些栅材料条纹的第二叠层与这些第一叠层交错并具有共平面。这些第二叠层配置为这些第一叠层的多个栅极。多个第一字线正交在这些第一叠层上,并具有与这些第一叠层共形的表面,使得一存储器元件的三维阵列建立在这些第一叠层的表面与这些字线之间的交叉点处。 | ||
搜索关键词: | 叠层 三维阵列 交错 存储器装置 控制结构 条纹 基底 字线 半导体材料 存储器元件 叠层配置 交叉点处 共平面 栅材料 共形 正交 | ||
【主权项】:
1.一种存储器装置,包括:一三维垂直栅NAND阵列,包括多个阶层,这些阶层各包括多个NAND串行,这些NAND串行于一个末端上具有一第一开关,并于一相反末端上具有一第二开关,该第一开关连接该串行至一共享的源极结构,该第二开关连接该串行至一对应的位线;多个阶层选择栅线,于该NAND阵列的多个分别阶层中,其中这些阶层选择栅线中的这些阶层选择栅线连接至该NAND阵列的这些分别阶层中这些NAND串行的这些第二开关;以及一区块选择栅线,连接至这些阶层中这些NAND串行的这些第一开关。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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