[发明专利]一种防爆型多组分动态配气装置及方法

摘要

本发明公开了一种防爆型多组分动态配气装置及方法，包括低压配气系统15、空气压缩发生装置16、增压系统17、抽真空系统18、灌装系统19；采用背压阀有效地保证了背压阀出气端的气体在进入气体混合器前压力稳定，从而起到防爆效果。采用变频式隔膜压缩机，不仅能够保证产品气纯度高，无杂质气体污染；而且通过调节变频式隔膜压缩机的工作频率将低压配气通道内的压力稳定于安全压力范围内，起到防爆效果。将n个质量流量控制器的流量控制量程按梯型分布实时控制气体流量，提高了配气的精度。利用空气压缩机产生的空气作为稀释气通道，节约成本。在配气过程中，可实现报警功能。

主权项

一种防爆型多组分动态配气装置，其特征在于，包括：由n个低压配气通道、背压阀(7)、气体混合器(8)和空气压缩发生装置(16)组成的低压配气系统(15)；每个低压配气通道由顺次连接的进气口(2)、电磁阀(3)、质量流量控制器(6)组成，质量流量控制器(6)输出汇总后接入背压阀(7)，背压阀(7)连接气体混合器(8)；第1个低压配气通道到第n个低压配气通道的质量流量控制器(6)的流量控制量程选择为阶梯递增；为组分气中的稀释气分配第n个低压配气通道作为稀释气通道，为组分气中的原料气分配最优精度的低压配气通道，所述最优精度的低压配气通道是指：质量流量控制器(6)的流量控制量程覆盖原料气所需提供流量的低压配气通道，如果符合该覆盖条件的低压配气通道有多个，则选定流量控制量程最窄的一个；并且，根据各组分气的流量，设置质量流量控制器(6)的开口流量；所述空气压缩发生装置(16)接入稀释气通道；由第一压力传感器(9‑1)、第二压力传感器(9‑2)、变频式隔膜压缩机(11)和放空控制阀(10‑2)组成的增压系统(17)；变频式隔膜压缩机(11)的入口连接气体混合器(8)；第一压力传感器(9‑1)、第二压力传感器(9‑2)用于测量变频式隔膜压缩机(11)的进出口压力，放空控制阀(10‑2)接入变频式隔膜压缩机(11)与气体混合器(8)之间的管路；由m个灌装通道组成的灌装系统(19)，每个灌装通道包括顺次连接的压力表(4‑3)、单向阀(13)和出气口(14)；所有灌装通道的入口均连接变频式隔膜压缩机(11)的出口管路；由真空泵(12)、真空压力表(4‑2)和第二气动球阀(10‑3)组成的抽真空系统(18)；真空泵(12)通过第二气动球阀(10‑3)接入变频式隔膜压缩机(11)的出口管路；真空压力表(4‑2)用于测量真空度；与本装置中的所有可控组件和传感器相连的控制中心。