[发明专利]一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置在审
| 申请号： | 201410386282.3 | 申请日： | 2014-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN104122416A | 公开（公告）日： | 2014-10-29 |
| 发明（设计）人： | 王矛宏;韩雄;罗力;张旻;钱锋 | 申请（专利权）人： | 苏州飞时曼精密仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01Q60/00 | 分类号： | G01Q60/00 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 周美华 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置，其包括设置在激光调节座上的激光器，设置在四象限调节座上的四象限探测器，以及用于放置探针的探针架，所述激光调节座和所述四象限调节座固定设置，所述激光器发出的入射光照射到所述探针的微悬臂上表面，并经所述微悬臂上表面反射进入所述四象限探测器内，所述激光器产生的激光光斑位于所述探针微悬臂的靠近端部的一侧，所述探针架设置在导轨座上，所述探针架上固定设有定位块，所述定位块上设置有用于放置探针的定位槽。本发明的激光检测装置光路简单，操作方便，且更换探针后无需调节激光光路，能大大缩短检测周期，提高检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 扫描 探针 显微镜 激光 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置，其包括设置在激光调节座(6)上的激光器(5)，设置在四象限调节座(9)上的四象限探测器(8)，以及用于放置探针(1)的探针架(3)，所述激光调节座(6)和所述四象限调节座(9)固定设置，所述激光器(5)发出的入射光(50)照射到所述探针(1)的微悬臂上表面，并经所述微悬臂上表面反射进入所述四象限探测器(8)内，所述激光器(5)产生的激光光斑位于所述探针(1)微悬臂的靠近端部的一侧，其特征在于:所述探针架(3)设置在导轨座(4)上，所述探针架(3)上固定设有定位块(2)，所述定位块(2)上设置有用于放置探针(1)的定位槽(20)。
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