[发明专利]基于相位控制模型的重叠测量系统及方法

摘要

本发明公开了一种基于相位控制模型的重叠测量系统及方法。其控制经散射的光分量与镜面反射光分量之间的相对相位以在检测之前放大微弱光学信号。甚至在存在图案间干涉的情况下，该系统及方法也利用基于模型的回归图像处理来准确地确定重叠误差。

主权项

1.一种测量第一目标与第二目标之间的重叠误差的方法，该第一目标及该第二目标具有各自的实际第一目标参数及实际第二目标参数且分别与第一图案及第二图案相关联，该第一图案及该第二图案环绕该第一目标及该第二目标且具有各自的实际第一图案参数及实际第二图案参数，该方法包含：a)照射该第一目标及该第二目标以产生具有相对相位的经散射的光分量及镜面反射光分量；b)使用具有图像平面的成像系统，在该图像平面处捕获该经散射的光分量及该镜面反射光分量以形成至少三个图像，其中该相对相位对于该至少三个图像不同；c)执行分析回归以自该至少三个图像确定该图像平面处的该经散射的光分量的光场的复合振幅；d)使用该经散射的光分量的该光场的该复合振幅获得所估计的第一目标参数及第二目标参数及所估计的第一图案参数及第二图案参数；e)使用该成像系统的图像模型执行第一数值回归，包括将该所估计的第一目标参数及第二目标参数及该所估计的第一图案参数及第二图案参数输入至该图像模型中以产生模型化图像，其中该第一数值回归反复地比较该模型化图像与该所测量的图像且修改该所估计的第一目标参数及第二目标参数及该所估计的第一图案参数及第二图案参数，以使该模型化图像与该所测量的图像之间的差异最小化，以确定该实际第一目标参数及第二目标参数及该实际第一图案参数及第二图案参数；f)自该实际第一目标参数及第二目标参数确定最佳相移；g)使用该最佳相移捕获该第一目标及该第二目标的图像；以及h)使用该图像模型及在动作g)中捕获的该图像执行第二数值回归以确定该第一目标与该第二目标之间的相对位置，该相对位置界定该重叠误差。