[发明专利]夹具、夹具工件托台、工件托台密封盘及夹具的密封装置

摘要

本发明涉及夹具，其包括卡盘和用于锁定到卡盘上的工件托台。卡盘包括呈定心凸肩的形式的第一定心部件，而所述工件托台设有主体和固定到主体上的定心盘。定心盘设有呈定心开口的形式的第二定心部件。工件托台的定心凸肩适于工件托台的定心开口，使得在夹紧到卡盘上时，工件托台可在X方向和Y方向上对齐。密封部件组件设置在卡盘的顶部。在工件托台的定心盘和主体之间设置有密封盘，其沿径向伸出定心盘之外。密封盘的沿径向伸出定心盘之外的部分构造成使得在夹紧工件托台时，所述部分密封性地接触密封部件组件的密封部件。

主权项

1.一种夹具，其包括卡盘(1)和用于锁定到所述卡盘(1)上的工件托台(2)，所述卡盘(1)包括呈定心凸肩(5)的形式的第一定心部件，并且所述工件托台(2)设有主体(20)和固定到所述主体(20)上的定心盘(23)，在所述定心盘(23)中加工出呈定心开口(24)的形式的第二定心部件，并且所述卡盘(1)的所述定心凸肩(5)匹配在所述工件托台(2)的所述定心开口(24)中，使得所述工件托台(2)可相对于所述卡盘(1)在X方向和Y方向上对齐，并且所述卡盘(1)在所述定心凸肩(5)的侧部处特别具有密封部件组件(7)，其特征在于，在所述工件托台(2)的所述定心盘(23)和所述主体(20)之间设置有密封盘(21)，其沿径向伸出所述定心盘(23)之外，且所述密封盘(21)的沿径向伸出所述定心盘(23)之外的部分构造成使得当所述工件托台(2)稳固地夹紧就位时，所述部分与所述密封部件组件(7)的密封部件密封性地进行接触。