[发明专利]使用金属纳米粒子的接合构造以及接合方法

摘要

本发明的目的在于提供一种技术，该技术能够实现在将2个部件接合的情况下的接合强度以及接合可靠性的提高。使用金属纳米粒子的接合构造具有第1部件(1)，其至少在一个表面上具有金属面；第2部件(2)，其至少在一个表面上具有金属面，并且该金属面配置在与第1部件(1)的金属面相对的位置处；以及接合材料(3)，其通过将金属纳米粒子烧结接合，从而将第1部件(1)与第2部件(2)接合。第1部件(1)和第2部件(2)中的至少一者的金属面形成为具有0.5μm～2.0μm范围的表面粗糙度的粗糙面。

主权项

一种使用金属纳米粒子的接合构造，其具有：第1部件，其至少在一个表面上具有金属面；第2部件，其至少在一个表面上具有金属面，并且该金属面配置在与所述第1部件的金属面相对的位置处；以及接合材料，其通过将金属纳米粒子烧结接合，从而将所述第1部件与所述第2部件接合，所述第1部件与所述第2部件中的至少一者的金属面形成为具有大于或等于0.5μm而小于或等于2.0μm的表面粗糙度Rz‑JIS的粗糙面，所述粗糙面具有：第1粗糙度区域，其具有第1表面粗糙度Rz‑JIS；以及第2粗糙度区域，其具有比所述第1表面粗糙度Rz‑JIS还粗糙的第2表面粗糙度Rz‑JIS，所述第2粗糙度区域形成为十字状或者格子状。