[发明专利]下凹环形压电谐振陀螺仪及其制作方法

摘要

本发明提供了一种下凹环形压电谐振陀螺仪及其制作方法，包括基底、基底上中心位置周围的空环形腔、在基底上的下凹环形压电谐振体、固定在基底上对下凹环形谐振体起支撑作用的支撑柱以及其上的电极、在下凹环形谐振体外表面上呈对称分布的八个电极，所述下凹环形压电谐振体定位成与所述基底的上表面分开以允许该压电谐振陀螺仪振动。本发明通过基底上表面的成型支撑柱对谐振体进行支撑，稳定性好，有利的减小支撑阻尼的影响，有利于提高陀螺Q值和灵敏度；工艺相对简单，利于实现；谐振体除中间支撑外与基底分离，有利于其振动；采用压电材料，抗过载、抗冲击能力强，工作谐振频率高，启动时间短。

主权项

一种下凹环形压电谐振陀螺仪，其特征在于，包括：一个具有上表面的方形基底；基底上中心位置周围的空环形腔；在基底上的下凹环形压电谐振体；固定在基底上对下凹环形谐振体起支撑作用的支撑柱以及支撑柱上的电极；在下凹环形谐振体的外表面上呈对称分布的八个电极；其中：所述压电谐振陀螺最下方为基底；所述起支撑作用的支撑柱位于基底的中心位置；所述空环形腔设置在支撑柱的周围；所述下凹环形压电谐振体附接于支撑柱上，且与基底的上表面分开以进行振动；八个所述电极在下凹环形压电谐振体的外表面与外部电路相连接，其中：八个电极分别为一个驱动电极对，附接到电路驱动端；一个检测电极对，附接到电路检测端；一个监测电极对，提供监测信号以监测压电谐振陀螺处于固有工作状态下；一个平衡电极对，提供平衡参考信号。