[发明专利]一种中大尺寸蓝宝石晶圆图案化制程黄光涂布前清洗装置及方法

摘要

本发明公开一种蓝宝石晶圆图案化制程黄光涂布前清洗装置，由电机、真空吸附台、底部喷头、顶部喷头、侧喷头和刷头组成，真空吸附台安装在电机的输出端，底部喷头安装在真空吸附台下方的侧边，顶部喷头以可水平移动的方式安装在真空吸附台上方，侧喷头安装在真空吸附台上方的侧边，刷头也以可水平移动的方式安装在真空吸附台上方。本发明还公开一种蓝宝石晶圆图案化制程黄光涂布前清洗方法。本发明可以避免交叉污染的现象，达到清洗的效果，进而提高了后续图案化制程及MOCVD制程的成品率及良率。

主权项

一种蓝宝石晶圆图案化制程黄光涂布前清洗方法，其特征在于步骤是：第一步，将蓝宝石晶圆采用真空吸附台固定，开启真空吸附台下方的电机带动真空吸附台和蓝宝石晶圆旋转，转速100rpm；第二步，开启真空吸附台下方侧边的底部喷头，用底部喷头从底部向蓝宝石晶圆边缘持续喷去离子水；第三步，持续第一步和第二步，同时，用顶部喷头从顶部由中间往外向蓝宝石晶圆喷洒SPM进行清洗；第四步，持续第一步和第二步，同时，用顶部喷头从顶部由中间往外向蓝宝石晶圆喷洒去离子水进行兆声波清洗；第五步，持续第一步和第二步，同时，用顶部喷头从顶部由中间往外向蓝宝石晶圆喷洒cold SC1进行清洗；第六步，持续第一步和第二步，同时，用侧喷头从顶部侧边向蓝宝石晶圆喷洒去离子水进行兆声波清洗，并且，用刷头由内往外刷洗蓝宝石晶圆；第七步，持续第一步，将蓝宝石晶圆快速旋干，关闭电机即可。