[发明专利]适用于太赫兹频段的四端口器件测试结构

摘要

本发明公开了一种适用于太赫兹频段的四端口器件测试装置。其包括太赫兹分支波导功分器，所述太赫兹分支波导功分器的波导腔包括主波导腔和副波导腔，所述主波导腔和副波导腔相互平行且都呈长方体结构，所述主波导腔和副波导腔之间还具有呈长方体结构的N个分支波导腔，所述波导腔具体包括直耦合测试结构波导腔、平行耦合测试结构波导腔和隔离度测试结构波导腔三种测试结构波导腔。本发明的有益效果是：本发明的各测试端口直波导长度显著减短，器件趋于小型化，有效解决了直波导过长而带来巨大损耗的问题，具有低插损，功率容量大等特点，更为重要的是易于对器件性能进行测试。

主权项

一种适用于太赫兹频段的四端口器件测试装置，其特征在于：包括太赫兹分支波导功分器，所述太赫兹分支波导功分器的波导腔(3)包括主波导腔(4)和副波导腔(5)，所述主波导腔(4)和副波导腔(5)相互平行且都呈长方体结构，所述主波导腔(4)和副波导腔(5)之间还具有呈长方体结构的N个分支波导腔；所述主波导腔(4)一端为波导输入段(6)，另一端为波导直通输出段(7)，所述副波导腔(5)一端为波导隔离段(9)，另一端为波导耦合输出段(8)，所述主波导腔(4)的波导输入段(6)与副波导腔(5)的波导隔离段(9)位于N个分支波导腔的同一侧，主波导腔(4)的波导直通输出段(7)与副波导腔(5)的波导耦合输出段(8)位于N个分支波导腔的另一侧；所述波导腔(3)具体包括直耦合测试结构波导腔(3.1)、平行耦合测试结构波导腔(3.2)和隔离度测试结构波导腔(3.3)三种测试结构波导腔；所述三种测试结构波导腔均对太赫兹分支波导功分器的波导腔的波导输入段的端口、波导直通输出段的端口、波导隔离段的端口、波导耦合输出段的端口进行波导的拐弯与延长，使得三种测试结构中的测试端口位于同一水平对齐线，非测试端口拐向侧面塞入吸波材料，所述吸波材料采用尖劈结构，尖头插入非测试端波导口内。