[发明专利]从太阳能电池板上的多晶材料去除非键合化合物的方法有效

专利信息
申请号: 201410392167.7 申请日: 2014-08-11
公开(公告)号: CN104916736B 公开(公告)日: 2017-09-29
发明(设计)人: 陈世伟 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 北京德恒律治知识产权代理有限公司11409 代理人: 章社杲,孙征
地址: 中国台*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 一种用于在清洁工艺期间从多个吸收衬底的吸收层去除非键合化合物的方法包括设定用于从吸收衬底的吸收层清洁非键合化合物的溶剂槽中的溶液的一个或多个条件。该方法还包括基于清洁工艺期间的溶剂槽中的溶液的水动力学,计算在吸收层上形成的边界层的厚度,以及设定清洁工艺期间吸收衬底之间的一个或多个间隔和溶剂槽中的溶液的循环速度。该方法还包括根据设定条件、间隔和溶液的循环速度,将吸收衬底浸入溶剂槽中并且在溶剂槽中清洁吸收衬底。本发明涉及用于从太阳能电池板上的多晶材料去除非键合化合物的方法。
搜索关键词: 用于 太阳能 电池板 多晶 材料 除非 化合物 方法
【主权项】:
一种用于在清洁工艺期间从吸收衬底的吸收层去除非键合化合物的方法,包括:设定用于从所述吸收衬底的所述吸收层清洁所述非键合化合物的溶剂槽中的溶液的一个或多个条件;计算所述清洁工艺期间在所述溶剂槽中的所述吸收层上形成的边界层的厚度;设定所述清洁工艺期间所述溶剂槽中的溶液的循环速度;以及在设定条件和所述溶液的循环速度下,将所述吸收衬底浸入所述溶剂槽中并且在所述溶剂槽中清洁所述吸收衬底,其中,将所述多个吸收衬底布置成对,其中,将每对所述吸收衬底浸入所述溶液中,其中,每对所述吸收衬底各自的所述吸收层彼此相对,基于在所述吸收衬底上形成的所述边界层的厚度,设定每对所述吸收衬底之间的间隔以加速所述清洁工艺。
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