[发明专利]一种实时监控镀膜过程中薄膜厚度的光学膜厚监控装置

摘要

本发明公开一种实时监控镀膜过程中薄膜厚度的光学膜厚监控装置，包括光源发射系统、监控片、信号接收系统和锁相放大器，其特征在于，所述光源发射系统由带光电池的光源和沿该光源发出的光束的前进方向依次设置的聚光镜、光阑、单排孔调制盘和准直镜组装成一体，所述光阑的光阑孔置于聚光镜的焦点处。本发明根据镀膜机的具体情况既可安装成垂直透射式镀膜厚度监控装置，又可安装成反射式镀膜厚度监控装置，使用非常灵活方便，既适用于垂直透射式镀膜厚度监控装置，又适于作反射式镀膜厚度监控装置，安装变换方便而且监控的精度高。

主权项

一种实时监控镀膜过程中薄膜厚度的光学膜厚监控装置，包括光源发射系统、监控片、信号接收系统和锁相放大器，其特征在于，所述光源发射系统由带光电池的光源和沿该光源发出的光束的前进方向依次设置的聚光镜、光阑、单排孔调制盘和准直镜组装成一体，所述光阑的光阑孔置于聚光镜的焦点处，所述的单排孔调制盘设有光开关，该单排孔调制盘周沿的调制孔贴近所述光阑的光阑孔并位于所述的光源发射系统发出的光束上，光源发射系统设置于所述的镀膜机的真空室之顶垂直向下；所述信号接收系统由依次设置的折光元件、会聚镜、单色仪和光电倍增管组装成一同光轴系统，信号接收系统的折光元件位于真空室之底盘并与所述光源发射系统发出的经监控片的光束成45°，所述折光元件为反射镜；所述的光电倍增管的信号输出端通过屏蔽线与锁相放大器的信号输入端相连，光开关的信号输出端通过屏蔽线与锁相放大器的参考信号输入端相连，光电池的光源强度信号输出端通过屏蔽线与锁相放大器的辅助输入端相连；所述的监控片置于镀膜机的真空室中并位于所述的光源发射系统的光束上，所述的折光元件既与所述的光源发射系统的光束成45°，又与所述的信号接收系统的光轴成45°。