[发明专利]一种制备Bi5Ti3Fe0.5Co0.5O15多铁性薄膜的方法有效
| 申请号： | 201410393881.8 | 申请日： | 2014-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN104129981A | 公开（公告）日： | 2014-11-05 |
| 发明（设计）人： | 杨锋;张福威;董翠芳;杨长红;胡广达;宗志豪 | 申请（专利权）人： | 济南大学 |
| 主分类号： | C04B35/26 | 分类号： | C04B35/26;C04B35/622 |
| 代理公司： | 济南泉城专利商标事务所 37218 | 代理人： | 贾波 |
| 地址： | 250022 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制备Bi5Ti3Fe0.5Co0.5O15多铁性薄膜的方法，步骤包括：配制浓度为0.05mol/L~0.2mol/L的前驱体溶液；将前驱体溶液涂在(111)Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底上，以3500-5500rpm的速度甩膜，沉积厚度为40-60nm的单层薄膜；对单层薄膜进行热处理，然后重复甩膜、热处理步骤，直至得到厚度300~500nm的多铁性薄膜。本发明方法实施很方便，对实验设备要求不高，成本低，所得薄膜晶粒尺寸大，具有优良的介电、电学和磁学性能，适合研制高密度的非挥发性存储器件以及其他磁电耦合器件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 bi sub ti fe 0.5 co 15 多铁性 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
一种制备Bi5Ti3Fe0.5Co0.5O15多铁性薄膜的方法，其特征是包括以下步骤：（一）配制前驱体溶液（1）按摩尔比为Bi：Ti：Fe：Co=5～5.1：3：0.5：0.5称取Bi(NO3)3·5H2O、钛酸四丁酯、Fe(NO3)3·9H2O和Co(NO3)2·6H2O，配制Bi5Ti3Fe0.5Co0.5O15浓度为0.05mol/L~0.2mol/L的前驱体溶液；（二）制备单层薄膜 将(111)Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底放入匀胶机中，然后将前驱体溶液涂在衬底上，以3500‑5500 rpm的速度甩膜，沉积单层薄膜，单层薄膜的厚度为40‑60nm；（三）单层薄膜热处理单层薄膜涂好后，将衬底放入石英管式炉中，先从室温以1‑5oC/min的速率升至240‑300 oC，保温5min；再以1‑5℃/min的速率升至440‑500℃，保温30min；再以35‑45℃/min的速率升至740‑800℃，保温60min，炉内的O2流量为1‑5L/min；待炉温自然冷却至室温后取出样品；（四）重复上述（二）和（三）的甩膜、热处理步骤，直至得到厚度300~500 nm的Bi5Ti3Fe0.5Co0.5O15多铁性薄膜。
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