[发明专利]一种离子源灯丝机构无效
| 申请号： | 201410395559.9 | 申请日： | 2014-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN104134600A | 公开（公告）日： | 2014-11-05 |
| 发明（设计）人： | 陈学兵 | 申请（专利权）人： | 苏州普京真空技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J27/02 | 分类号： | H01J27/02 |
| 代理公司： | 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 | 代理人： | 刘述生 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种离子源灯丝机构，包括灯丝杆和冷却管，所述灯丝杆内为中空的灯丝杆内腔，所述冷却管内为中空的冷却流道，所述冷却流道的一端与所述灯丝杆内腔连通，所述冷却流道的另一端与外部冷却源连通。本发明的离子源灯丝机构结构简单，使用效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子源 灯丝 机构 | ||
【主权项】：
一种离子源灯丝机构，其特征在于，包括灯丝杆和冷却管，所述灯丝杆内为中空的灯丝杆内腔，所述冷却管内为中空的冷却流道，所述冷却流道的一端与所述灯丝杆内腔连通，所述冷却流道的另一端与外部冷却源连通。
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