[发明专利]一种防止镀膜机熔靶的冷却水系统在审
| 申请号： | 201410395735.9 | 申请日： | 2014-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN104164652A | 公开（公告）日： | 2014-11-26 |
| 发明（设计）人： | 林华业 | 申请（专利权）人： | 成都派莱克科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/54 |
| 代理公司： | 无 | 代理人： | 无 |
| 地址： | 610000 四川省成都市成华区*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种防止镀膜机熔靶的冷却水系统，包括系统包括：第一水箱、第二水箱，其中，所述第一水箱与真空镀膜设备冷却水进水口之间连接有第一水管，所述第二水箱与所述真空镀膜设备冷却水出水口之间连接有第二水管，所述第一水箱与所述第二水箱之间连接有第三水管，其中，所述第一水管上设有第一水阀、第一水泵、第一水温检测报警器，所述第二水管上设有第二水阀、第二水泵、第二水温检测报警器、第一流速检测报警仪，所述第一水箱内设有制冷机，所述第三水管上设有第三水阀、第三水泵，实现了系统结构设计合理，对水温和水流进行准确的判断和预警，在温度和水流出现异常时进行报警，保障的冷却水的冷却效果，冷却效果较好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 防止 镀膜 机熔靶 冷却水 系统 | ||
【主权项】：
一种防止镀膜机熔靶的冷却水系统，其特征在于，包括系统包括：第一水箱、第二水箱，其中，所述第一水箱与真空镀膜设备冷却水进水口之间连接有第一水管，所述第二水箱与所述真空镀膜设备冷却水出水口之间连接有第二水管，所述第一水箱与所述第二水箱之间连接有第三水管，其中，所述第一水管上设有第一水阀、第一水泵、第一水温检测报警器，所述第二水管上设有第二水阀、第二水泵、第二水温检测报警器、第一流速检测报警仪，所述第一水箱内设有制冷机，所述第三水管上设有第三水阀、第三水泵。
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